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國產(chǎn)光刻機(jī)第一股！華卓精科科創(chuàng)板過會(huì)，與清華共享專利

日期：2021-09-18 11:30:32    　　點(diǎn)擊：

今天，北京華卓精科科技股份有限公司(以下簡稱“華卓精科“)于科創(chuàng)板成功過會(huì)。華卓精科主營業(yè)務(wù)為超精密測控設(shè)備，產(chǎn)品包括精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、光刻機(jī)雙工件臺(tái)模塊、靜電卡盤、晶圓級(jí)鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等，主要應(yīng)用于集成電路制造、超精密制造、光學(xué)、醫(yī)療等行業(yè)。

光刻機(jī)工件臺(tái)是光刻機(jī)的3大核心部件之一，華卓精科是國內(nèi)首家自主研發(fā)并實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)雙工件臺(tái)商業(yè)化生產(chǎn)的企業(yè)，也是國內(nèi)光刻機(jī)龍頭上海微電子的供應(yīng)商。目前，華卓精科的DWS系列雙工件臺(tái)可用于65nm及以上節(jié)點(diǎn)的I-line、KrF和ArF干式光刻機(jī)，但尚未通過上海微電子的驗(yàn)收。

今年7月29日，華卓精科的上市委會(huì)議結(jié)果為暫緩審議，上市委現(xiàn)場詢問了有關(guān)其光刻機(jī)雙工件臺(tái)的產(chǎn)業(yè)化前景、其技術(shù)研發(fā)是否依賴清華大學(xué)、以及2019年和2020年第四季度的大額銷售收入等事項(xiàng)。

報(bào)告期內(nèi)，華卓精科營收呈遞增趨勢(shì)，2018年、2019年、2020年其營收分別為8570萬元、1.21億元和1.52億元。

本輪IPO，華卓精科計(jì)劃募資7.35億元，將用于半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)制造、超精密測控產(chǎn)品長三角創(chuàng)新與研發(fā)中心、集成電路裝備與零部件產(chǎn)品創(chuàng)新項(xiàng)目、光刻機(jī)超精密位移測量及平面光柵測量技術(shù)研發(fā)4個(gè)項(xiàng)目。

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本文來源：http://m.jrao.cn/2021/hyxw_0918/6057.html

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